APシリーズ｜除振台・光学定盤の明立精機株式会社 | 除振台・光学定盤の明立精機株式会社

ユニット型空気ばね式除振装置APシリーズ

精密機器の個性に合わせた最適な除振システムが低コストで構成できます。

除振装置には、優れた性能はいうまでもなく、よりフレキシブルであることが重視されます。それは、精密機器の個性に合わせた最良の除振システムを、直接機器に組み込むことが多くなってきたからです。こうしたニーズに即応できる除振システム、それがＡＰシリーズです。余裕ある機能に加えて、拡張性も充分。より理想的な振動環境を、この除振システムが実現します。

パッシブ

適用分野

計測・計量機器
半導体製造・精密加工

ユニットタイプ

概要・特長

技術と実績が光る明立の空気ばね除振システム

顕微鏡やレーザー応用技術から半導体製造・検査装置に至るまで、幅広い分野で数多くの実績がある空気ばねシステムを採用。数Hzから数百Hz までの広い周波数帯域にわたり優れた除振性能を保証します。また、空気の供給が停止した状態でも、空気ばね下部の防振ゴムが搭載機器の精密なメカニズムを保護します。

汎用性のあるユニットタイプ

装置に組み込む場合、除振システムの設置スペースはより小さいことが求められます。AP シリーズは空気ばねとそれを制御する高感度レベル維持センサーをコンパクトにまとめたユニットタイプ。装置に大幅な仕様変更を加えることなく装着でき、高い除振性能を得ることができます。

全高は185mm で統一（浮上時）

この除振システムはすべて全高185mm で統一。万一、設計変更により搭載機器質量の増減があっても装置の全高を変えずに対応が可能です。

幅広い搭載質量をカバー

除振を必要とする精密機器は、年々その種類や使用目的が多様化しています。精密機器の質量にあわせてAP-80から380 まで11 種類をライン・アップ、数百キロから10トンを越える大型の精密機器に対しても対応可能です。

クリーンルームへの対応も可能

高レベルのクリーンルーム内で使用する場合、エアーの集中排気ができるクリーンルーム用レベル維持センサーに変更可能です。（特注となりますので別途お問い合わせ下さい。また2段式センサーは変更不可。）

移動荷重に対する高い対応性

ワークの移動、基板などの受け渡し、自動加工・測定機の動作には常に荷重の変化がともない、弾性体である空気ばねで支持する際には、位置再現性が重要になってきます。APシリーズは空気ばね制御に明立独自の高感度レベル維持センサーを標準装備し、垂直方向の復帰精度±200μm を実現。また近年のワークの高速化にともない搭載盤の揺れが問題になるケースがあります。オプションの2段式センサーを選択すれば揺れの収束時間をより短くすることが可能、復帰精度も±100μm とパッシブ除振システムとして移動荷重への対応を限界まで高められます。（移動荷重による揺れの収束時間が問題となる場合、必ず事前に弊社までご相談下さい。）

仕様

主な仕様

型式	AP-80	AP-100	AP-120	AP-140	AP-160	AP-180
固有振動数	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空気ばね
制振方式	オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式	自動レベル維持機構（復帰精度±200μm）
機体寸法 W×D×H(mm)	170×170 ×185	180×180 ×185	200×200 ×185	210×210 ×185	240×240 ×185	250×250 ×185
機体質量(kg) [空気ばね1個]	10.5	14	15	19	21	27.5
搭載可能質量(kg) [空気ばね 4個使用時]	560	880	1200	1700	2200	2800
供給圧力	0.40～0.70MPa（空気源：コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ）

型式	AP-200	AP-230	AP-270	AP-330	AP-380
固有振動数	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空気ばね
制振方式	オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式	自動レベル維持機構（復帰精度±200μm）
機体寸法 W×D×H(mm)	260×260 ×185	300×300 ×185	320×320 ×185	370×370 ×185	430×430 ×185
機体質量(kg) [空気ばね1個]	32	43.5	52	67.5	90
搭載可能質量(kg) [空気ばね 4個使用時]	3600	4600	6400	9600	13000
供給圧力	0.40～0.70MPa（空気源：コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ）