ユニット型空気ばね式除振装置AP-MKHシリーズ
最高グレードのパッシブ除振装置レベルの除振性能でありながら可動部のある装置にも使用可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット
明立精機パッシブ除振装置ラインナップの中でも最高グレードの除振性能でありながら、ステージ等可動部への対応も可能です。高精度・高スループットを要求される製造装置に高コストパフォーマンスの除振装置を提供いたします。
- パッシブ
適用分野
- 計測・計量機器
- 半導体製造・精密加工
- ユニットタイプ
概要・特長
外観図
仕様
- 主な仕様
| 型式 | AP-230MKH | AP-270MKH | AP-330MKH |
|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 垂直：1.5～2.0Hz / 水平：0.7～1.0Hz | ||
| 除振方式 | 空気ばね | ||
| 制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構（復帰精度±100μm） | ||
|
機体寸法 W×D×H(mm) | 320×320×325 | 320x320x325 | 370×370×325 |
|
機体質量(kg) [空気ばね1個] | 54 | 64 | 81 |
|
搭載可能質量(kg) [空気ばね4個使用時] | 6200 | 8600 | 13000 |
| AxB(mm) | 290x290 | 290x290 | 340x340 |
| ΦC(mm) | 13 | 13 | 13 |
| 供給圧力 | 0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ） | ||
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