卓上型アクティブ除振システムMEシリーズ
６自由度アクティブ制御の卓上型除振システムです。
搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加える事で振動制御。
３次元（６自由度）でコントロールします。
- アクティブ
適用分野
- 顕微鏡システム
- 計測・計量機器
- ナノ表面分析
- 卓上タイプ
概要・特長
６自由度アクティブ制御
搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加える事で振動制御。
３次元（６自由度）でコントロールします。
自動アクティブ調整＆自動レベリング
アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。
搭載物に左右されない除振性能
装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を落とさずご利用いただけるようになりました。
外形寸法図と除振性能
仕様
- 主な仕様
| 型式 | ME-0405 | ME-0506 |
|---|---|---|
| システム形状 | 卓上型 | |
| アクティブ制御範囲 | 0.5Hz～100Hz（100Hz以上はパッシブ制御） | |
| 自動機構 | アクティブ制御調整、レベリング調整 | |
| ステータス | 前面LCDコントロールパネルに表示 | |
| 搭載可能質量(kg)※1 | 80 | 80 |
| 搭載面寸法(mm) | 430×530 | 530×630 |
| 機体寸法(mm)※2 | 432×532×93 | 532×632×93 |
| 機体質量(kg) | 31 | 42 |
| ユーティリティ | 電源（100V-240V、AC単相、50/60Hz） | |
| 標準付属品 | 取扱説明書、電源コード(3m) | |
| オプション |
搭載盤スチールハニカム光学定盤 専用防音ボックス 専用架台 | |
※1均等荷重。
※2突起部は除く。
オプション
ハニカム光学定盤搭載可能（オプション）
搭載盤を高剛性スチールハニカム光学定盤に変更可能。
上面タップM6-25mmマトリクス、上面板着磁性ステンレスにより光学部品などを使用したシステム構築に柔軟に対応します。
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