ユニット型空気ばね式除振装置AP-MKCシリーズ
可動部のある装置にも使用可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット
明立精機の永年の技術と経験により、両立は難しいと言われていた低固有振動数且つステージ等可動部にも対応するパッシブ除振ユニットを開発いたしました。高精度・高スループットを要求される製造装置に高コストパフォーマンスの除振装置を提供いたします。
- パッシブ
適用分野
- 計測・計量機器
- 半導体製造・精密加工
- ユニットタイプ
概要・特長
外観図
AP-MKC外観図
仕様
- 主な仕様
| 型式 | AP-230MKC | AP-270MKC | AP-330MKC |
|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 垂直：1.5～2.0Hz / 水平：1.0～1.5Hz | ||
| 除振方式 | 空気ばね | ||
| 制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構（復帰精度±100μm） | ||
|
機体寸法 W×D×H(mm) | 300×300×220 | 320x320x220 | 370×370×220 |
|
機体質量(kg) [空気ばね1個] | 46 | 56 | 72 |
|
搭載可能質量(kg) [空気ばね4個使用時] | 6200 | 8600 | 13000 |
| AxB(mm) | 270x270 | 290x290 | 340x340 |
| ΦC(mm) | 13 | 13 | 13 |
| 供給圧力 | 0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ） | ||
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