デスク型アクティブ除振システムME-Dシリーズ
デスク型のアクティブ除振システム
永い歴史と納入実績のなかで培ってきた除振技術により開発されたME40シリーズがMEシリーズにリニューアル。 コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約、従来のパッシプタイプでは実現できなかった振動環境を提供します。近年、特に進歩の目覚ましいナノテクノロジー分野において要求される、高精度・高分解能の精密機器のパフォーマンスを最大限に発揮させるベスト・パートナーです。
- アクティブ
- デスクタイプ
概要・特長
６自由度アクティブ制御
搭載盤および設置面の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元（6自由度）でコントロールします。
自動アクティブ調整＆自動レベリング
アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。
軽量搭載物にも対応可能
装置構造を見直すことにより小型SPMのような軽量の搭載物でもご利用いただけるようになりました。
電源のみで動作
使用に必要なユーティリティは電源のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。
アプリケーション
走査プローブ顕微鏡（SPM）、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元形状測定機、レーザー変位計システム、その他精密測定・精密加工機。
振動伝達率データ
ME除振性能
外形寸法図
ME-D外形寸法図
仕様
- 主な仕様
| 型式 | ME-0806D | ME-1007D |
|---|---|---|
| システム形状 | デスク型 | |
| アクティブ制御範囲 | 0.5Hz～100Hz（100Hz以上はパッシブ制御） | |
| 自動機構 | アクティブ制御調整、レベリング調整 | |
| ステータス | 前面LCDコントロールパネルに表示 | |
| 搭載可能質量(kg)※1 | 200 | |
| 搭載面寸法(mm) | 800×600 | 1000×750 |
| 機体寸法(mm)※2 | 890×690×700 | 1090×840×700 |
| 機体質量(kg) | 170 | 200 |
| ユーティリティ | 電源（100V-240V、AC単相、50/60Hz） | |
| 標準付属品 | 取扱説明書、電源コード(3m) | |
| オプション | 上面タップ加工M6-25mm | |
※1 均等荷重 ※2 突起物は除く
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