除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

パッシブ除振システムには標準センサー±0.5mm,高感度センサー±0.2mm、2段式センサー±0.1mmです。
尚、卓上型に付属のセンサーは簡易的なタイプが付属しています。（Sタイプ）
※アクティブ除振システム（MAPSシリーズ/MRZシリーズ）は更に高い位置決め精度（±0.001～0.050mm）が可能です。
詳細はお問合せください。