除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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  1. ユニット型空気ばね式除振装置 MKBシリーズ

ユニット型空気ばね式除振装置MKBシリーズ

大荷重の精密機器の除振を低コストで実現します。

 空気ばね、オイルダンパー、レベル維持センサーが一体になったコンパクトで大荷重に対応するユニット型除振装置です。全モデルの高さを155mmに統一しているので、フレキシブルな組合わせの対応可能です。オイルダンパーが標準でついているので可動部がある装置の揺れも迅速に収束します。

  • パッシブ

適用分野

  • 光学・レーザ実験
  • 計測・計量機器
  • 半導体製造・精密加工
MKBシリーズ
  • ユニットタイプ

概要・特長

外観図

外観図

仕様

  • 主な仕様
型式MKB-0390MKB-0590MKB-0930MKB-1500
固有振動数垂直:3.5~4.3Hz / 水平:3.0~3.8Hz
除振方式空気ばね
制振方式オリフィスによるエアーダンピング及びオイルダンパー
レベル維持方式自動レベル維持機構(復帰精度±100μm)
機体寸法
W×D×H(mm)
225×225×155270×270×155340×340×155400×400×155
機体質量(kg)
[空気ばね1個]
20304560
搭載可能質量(kg)
[空気ばね4個使用時]
39005900930015000
AxB(mm)200x200240x240308x308368x368
ΦC(mm)12141616
供給圧力0.5MPa(空気源:コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ)

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