クリーンルーム仕様卓上型空気ばね式除振装置 AVSシリーズ
概要・特長

- コンパクトなボディーに高性能空気ばね式除振システムを集約。調整不要な自動レベル維持タイプ。
- 搭載盤にステンレスカバー、空気ばねからの排気エアーを一ヶ所にとりまとめることができる集中排気センサー仕様。厳しい基準を要求されるクリーンルーム内での使用でも安心です。
仕様
- 主な仕様
項目/型式 | AVS-0405S | AVS-0506S | AVS-0605S | AVS-0806S | |
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固有振動数 | 2.5Hz | ||||
除振方式 | ダイヤフラム型空気ばね | ||||
制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||||
レベル維持方式 | 自動レベル維持機構により自動的に水平維持 | ||||
搭載盤上面 | SUS304 バフ研磨仕上げ | ||||
寸法 W×D(mm) | 430×530 | 530×630 | 630×530 | 800×600 | |
全高(mm) | 74.5 | ||||
機体質量(kg) | 24 | 31 | 31 | 43 | |
搭載可能質量(kg) | 60 | ||||
供給圧力(MPa) | 0.35~0.70 (空気源:コンプレッサー・工場エアー・チッソボンベ) | ||||
付属品 |
ウレタンチューブΦ6mm×3m(給気用)、Φ4mm×3m(排気用)、 変換用継手(Φ6mmチューブ-->PT/1/4オス)1個 |
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