クリーンルーム仕様卓上型空気ばね式除振装置 AVSシリーズ
クリーンルーム内での使用に適応したコンパクトな卓上型空気ばね式除振装置
- パッシブ
適用分野
- 顕微鏡システム
- 計測・計量機器
- 卓上タイプ
概要・特長
- コンパクトなボディーに高性能空気ばね式除振システムを集約。調整不要な自動レベル維持タイプ。
- 搭載盤にステンレスカバー、空気ばねからの排気エアーを一ヶ所にとりまとめることができる集中排気センサー仕様。厳しい基準を要求されるｸﾘｰﾝﾙｰﾑ内での使用でも安心です。
仕様
- 主な仕様
| 項目/型式 | AVS-0405S | AVS-0506S | AVS-0605S | AVS-0806S | |
|---|---|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 2.5Hz | ||||
| 除振方式 | ダイヤフラム型空気ばね | ||||
| 制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構により自動的に水平維持 | ||||
| 搭載盤上面 | ＳＵＳ３０４ バフ研磨仕上げ | ||||
| 寸法 W×D(mm) | 430×530 | 530×630 | 630×530 | 800×600 | |
| 全高(mm) | 74.5 | ||||
| 機体質量(kg) | 24 | 31 | 31 | 43 | |
| 搭載可能質量(kg) | 60 | ||||
| 供給圧力(MPa) | 0.35～0.70 (空気源:コンプレッサー・工場エアー・チッソボンベ) | ||||
| 付属品 |
ウレタンチューブΦ6mm×3m(給気用)、Φ4mm×3m(排気用)、 変換用継手(Φ6mmチューブ-->PT/1/4オス)1個 | ||||
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