クリーンルーム仕様卓上型空気ばね式除振装置 AVSシリーズ
クリーンルーム内での使用に適応したコンパクトな卓上型空気ばね式除振装置
- パッシブ
適用分野
- 顕微鏡システム
- 計測・計量機器
- 卓上タイプ
概要・特長
- コンパクトなボディーに高性能空気ばね式除振システムを集約。調整不要な自動レベル維持タイプ。
- 搭載盤にステンレスカバー、空気ばねからの排気エアーを一ヶ所にとりまとめることができる集中排気センサー仕様。厳しい基準を要求されるｸﾘｰﾝﾙｰﾑ内での使用でも安心です。
仕様
- 主な仕様
| 項目/型式 | AVS-0405S | AVS-0506S | AVS-0605S | AVS-0806S | |
|---|---|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 2.5Hz | ||||
| 除振方式 | ダイヤフラム型空気ばね | ||||
| 制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構により自動的に水平維持 | ||||
| 搭載盤上面 | ＳＵＳ３０４ バフ研磨仕上げ | ||||
| 寸法 W×D(mm) | 430×530 | 530×630 | 630×530 | 800×600 | |
| 全高(mm) | 74.5 | ||||
| 機体質量(kg) | 24 | 31 | 31 | 43 | |
| 搭載可能質量(kg) | 60 | ||||
| 供給圧力(MPa) | 0.35～0.70 (空気源:コンプレッサー・工場エアー・チッソボンベ) | ||||
| 付属品 |
ウレタンチューブΦ6mm×3m(給気用)、Φ4mm×3m(排気用)、 変換用継手(Φ6mmチューブ-->PT/1/4オス)1個 | ||||
この製品についてのお問い合わせ
技術仕様や価格など、製品に関するお問い合わせは、こちらのメールフォームにて承っております。また、右記のお電話でも承っております。お気軽にご連絡ください。
この製品に関するよくあるご質問（FAQ）
- 除振システムを使う際に、設備として除振システムの他に何が必要ですか？
- 除振システムと搭載機器を設置するには、どのような場所が適していますか？
- パッシブ除振システムの空気消費量はどのくらいですか？コンプレッサーのタンク容量はどの程度必要ですか？
- 搭載盤が全然浮上しません。
- 搭載盤が傾いて浮上します/部分的に浮上しません。
- 除振システムから空気が漏れているようです。修理は可能ですか？
- 窒素ボンベの窒素が減るのが早い気がするのですが？/コンプレッサーが頻繁に回る気がするのですが？
- 自動レベル維持センサーの復帰精度を教えてください。
- 除振装置がどれだけ効果があるのか確認したいのですが、デモ機を貸して頂けますか？
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