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  1. クリーンルーム仕様卓上型空気ばね式除振装置 AVSシリーズ

クリーンルーム仕様卓上型空気ばね式除振装置 AVSシリーズ

クリーンルーム内での使用に適応したコンパクトな卓上型空気ばね式除振装置

  • パッシブ

適用分野

  • 顕微鏡システム
  • 計測・計量機器
AVSシリーズ
  • 卓上タイプ

概要・特長

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  • コンパクトなボディーに高性能空気ばね式除振システムを集約。調整不要な自動レベル維持タイプ。
  • 搭載盤にステンレスカバー、空気ばねからの排気エアーを一ヶ所にとりまとめることができる集中排気センサー仕様。厳しい基準を要求されるクリーンルーム内での使用でも安心です。

仕様

  • 主な仕様
項目/型式AVS-0405SAVS-0506SAVS-0605SAVS-0806S
固有振動数2.5Hz
除振方式ダイヤフラム型空気ばね
制振方式オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式自動レベル維持機構により自動的に水平維持
搭載盤上面SUS304 バフ研磨仕上げ
寸法 W×D(mm)430×530530×630630×530800×600
全高(mm)74.5
機体質量(kg)24313143
搭載可能質量(kg)60
供給圧力(MPa)0.35~0.70 (空気源:コンプレッサー・工場エアー・チッソボンベ)
付属品 ウレタンチューブΦ6mm×3m(給気用)、Φ4mm×3m(排気用)、
変換用継手(Φ6mmチューブ-->PT/1/4オス)1個

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