技術情報
搭載盤の基本
ハニカム定盤
- 箔状材料をはちの巣（honeycomb）状に成型し、上下板で挟み込んで接着した定盤。
- 箔状材料と上下板の材質が選択できる（スチール、ステンレス、アルミなど）。
- 質量に対して、強度・剛性が高い。
- ダンピング性能が優れている。
石定盤
- 高い面精度が得られ、経年変化がほとんどない。
- 熱伝導率と吸水率が低いため、周囲の温度や湿度の変化に影響を受けにくい。
- 定盤に傷が付いても、かえりや盛り上がりがでない。
- 鋳鉄より硬度が高く、耐摩耗性に優れている。
鋳鉄定盤
- リブの入れ方を工夫することで高い面精度が得られる。
- 大型定盤や複雑な形状の定盤を製作することができる。
- 添加する合金元素により耐食性・耐熱性・低膨張などの特性が得られる。
- 加工性に優れている。
鋼板
- 厚さや形状を任意に製作することができる。
- 鋼板の間に制振材を挟み込むことで、ダンピング性能を高めることができる。
- ＳＳ材やＳＵＳ材の鋼板以外にも、アルミ板など用途により材質の選択ができる。
ファインセラミックス定盤
- 定盤の大きさは制約されるが、高い面精度が得られる。
- 石と同様に周囲の温度や湿度の変化に影響を受けにくい。
- 化学的に安定で、耐薬品性に優れている。
- 素材の剛性が非常に高く、軽量（比重が鉄系の金属の半分程度）である。
