除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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ユニット型コイルばね式除振装置SMIシリーズ

メンテナンスフリーで優れた除振性能を発揮。

FPD製造検査装置をはじめ様々な精密機器に直接組込可能なユニット型コイルばね式除振装置です。

  • パッシブ

適用分野

  • 計測・計量機器
  • 半導体製造・精密加工
SMIシリーズ
  • ユニットタイプ

概要・特長

  • 圧縮コイルばね+オイルダンパーによりばねのサージング、共振倍率を抑え広い周波数帯域で 優れた除振性能を発揮します。
  • エアー源等のユーティリティが不要、メンテナンスフリーでご使用いただけます。
  • 経年変化が極めて小さく、長期にわたり安定した性能を発揮します。
  • ダンパーオイルの粘度を変更することにより適正な減衰比が設定可能です。
  • ベアリング内臓のレベリング機構によりユニット高さ調整が容易です。(一部機種を除く。)
  • 搭載物の仕様に応じて最適のユニットをご提案しますのでお問い合わせ下さい。

振動伝達率

振動伝達率のグラフ
smi_d1

SMI-120

仕様

  • 主な仕様
型式SMI-7000SMI-120
固有振動数(垂直)/(水平)3.0Hz/2.5Hz6.2Hz/4.0Hz
機体質量54kg4kg
搭載可能質量(ユニット1個あたり)1600kg40kg
サイズ(mm)W400×D300×H280W185×D115×H94

※通常、ユニット3個以上で使用します。※搭載物に移動ワークがある場合は必ず事前にご相談下さい。
※製品改良のため仕様・外観の一部を予告無く変更する場合がありますので予めご了承下さい。

この製品についてのお問い合わせ

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