除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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技術情報

搭載盤の基本

ハニカム定盤

  • 箔状材料をはちの巣(honeycomb)状に成型し、上下板で挟み込んで接着した定盤。
  • 箔状材料と上下板の材質が選択できる(スチール、ステンレス、アルミなど)。
  • 質量に対して、強度・剛性が高い。
  • ダンピング性能が優れている。

石定盤

  • 高い面精度が得られ、経年変化がほとんどない。
  • 熱伝導率と吸水率が低いため、周囲の温度や湿度の変化に影響を受けにくい。
  • 定盤に傷が付いても、かえりや盛り上がりがでない。
  • 鋳鉄より硬度が高く、耐摩耗性に優れている。

鋳鉄定盤

  • リブの入れ方を工夫することで高い面精度が得られる。
  • 大型定盤や複雑な形状の定盤を製作することができる。
  • 添加する合金元素により耐食性・耐熱性・低膨張などの特性が得られる。
  • 加工性に優れている。

鋼板

  • 厚さや形状を任意に製作することができる。
  • 鋼板の間に制振材を挟み込むことで、ダンピング性能を高めることができる。
  • SS材やSUS材の鋼板以外にも、アルミ板など用途により材質の選択ができる。

ファインセラミックス定盤

  • 定盤の大きさは制約されるが、高い面精度が得られる。
  • 石と同様に周囲の温度や湿度の変化に影響を受けにくい。
  • 化学的に安定で、耐薬品性に優れている。
  • 素材の剛性が非常に高く、軽量(比重が鉄系の金属の半分程度)である。