除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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  1. FAQ(よくある質問)
  2. 「パッシブ除振」と「アクティブ除振」の違いを教えてください。

FAQ(よくある質問)

技術・サポートに関する質問

「パッシブ除振」と「アクティブ除振」の違いを教えてください。

アクティブ除振システムの基本構造は、パッシブ除振システムに振動センサーとアクチュエータを加えたものです。
定盤の揺れを振動センサーで検出して逆向きの振動をアクチュエータで加えることで瞬時に振動を抑える働きをします(フィードバック制御と言います)。
さらに床振動をセンサーで検出して定盤に伝えない制御も行います(フィードフォワード制御と言います)。
このようなアクティブ制御により、パッシブ除振装置よりも、搭載装置を操作したときやステージが動いた時の揺れに対する収束時間が短く、床からの振動を伝えない除振効果が高いのが特徴です。

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