除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

フルオートで理想の振動環境を創造、ナノテクノロジー研究を強力にサポート。

LCDモニター
(上:荷重バランス 下:時間軸波形)

6自由度アクティブ制御

搭載盤の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元（6自由度）でコントロールを行います。 

自動レベリング&アクティブ調整

搭載盤上の搭載機器の荷重の偏りを自動検出し、設置時の搭載盤の水平度を維持します。またアクティブ除振システムに欠かせないゲイン調整も明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。移設・移動の際もワンタッチで搭載盤をロック。煩雑な作業は不要です。

電源のみで動作

作動に必要なユーティリティは電源（AC100～240V, AC単相 50／60Hz）のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。

LCDモニターを採用

除振システムのステイタスは、正面に設けられたＬＣＤモニターにより確認が可能です。搭載盤ロック／アンロック・レベリング・荷重バランス・振動状況（時間軸波形）。測定、加工の信頼性、実験の再現性をより向上させます。　　　　　

コントローラ内蔵のコンパクト設計

全高85mmのスマートなボディに制御系をすべて内蔵。用途、レイアウトの自由度が広がります。

アプリケーション

原子間力顕微鏡（AFM）、走査トンネル顕微鏡（STM）、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元表面形状測定機、レーザー変位計システム、各種精密測定・精密加工機。
LCDモニター
(上:荷重バランス 下:時間軸波形)

振動伝達率データ