卓上型アクティブ除振システムME40シリーズ
コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約
永い歴史と納入実績のなかで培ってきた除振技術により開発されたＭＥ４０シリーズ。 コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約、従来のパッシプタイプでは実現できなかった振動環境を提供します。近年、特に進歩の目覚ましいナノテクノロジー分野において要求される、高精度・高分解能の精密機器のパフォーマンスを最大限に発揮させるベスト・パートナーです。
- アクティブ
適用分野
- 顕微鏡システム
- 計測・計量機器
- ナノ表面分析
- 卓上タイプ
概要・特長
６自由度アクティブ制御
搭載盤および設置面の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元（6自由度）でコントロールします。
豊富なサイズバリエーション
卓上型2サイズ、デスク型2サイズ、合計4サイズをラインナップ。搭載盤は、卓上型：制振アルミ板、デスク型：スチールハニカム光学定盤を採用しております。
軽荷重に特化したLタイプ
小型SPMのような軽量の搭載物でも、除振性能を100％発揮する軽荷重対応仕様を用意しました。
自動アクティブ調整＆自動レベリング
アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。
電源のみで動作
使用に必要なユーティリティは電源のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。
アプリケーション
走査プローブ顕微鏡（SPM）、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元形状測定機、レーザー変位計システム、その他精密測定・精密加工機。
振動伝達率データ
仕様
- 主な仕様
| 項目/型式 | ME40-0405N(L) | ME40-0506N |
|---|---|---|
| アクティブ制御範囲 | 0.5Hz～100Hz（100Hz以上はパッシブ制御） | |
| 自動機構 | アクティブ制御調整、レベリング調整 | |
| ステータス | 前面LCDコントロールパネルに表示 | |
| 搭載可能質量(kg)※ | 80（Lは40） | 80 |
| 搭載面寸法(mm) | 430×530 | 530×630 |
| 機体寸法(mm)※※ | 430×530×90 | 530×630×90 |
| 機体質量(kg) | 28 | 38 |
| ユーティリティ | 電源（100V-240V、AC単相、50/60Hz） | |
| 標準付属品 | 取扱説明書、電源コード(3m) | |
| オプション | 搭載盤スチールハニカム光学定盤 | |
※均等荷重。
※※突起部は除く。
専用防音ボックスや卓上型専用架台の製作も可能です。詳しくはお問い合わせください。
［オプション］搭載盤スチールハニカム光学定盤
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