除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

  1. デスク型アクティブ除振システム ME40-Dシリーズ

デスク型アクティブ除振システムME40-Dシリーズ

コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約

永い歴史と納入実績のなかで培ってきた除振技術により開発されたME40シリーズ。 コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約、従来のパッシプタイプでは実現できなかった振動環境を提供します。近年、特に進歩の目覚ましいナノテクノロジー分野において要求される、高精度・高分解能の精密機器のパフォーマンスを最大限に発揮させるベスト・パートナーです。

  • アクティブ

適用分野

  • 顕微鏡システム
  • 計測・計量機器
  • ナノ表面分析
ME40-Dシリーズ
  • デスクタイプ

概要・特長

6自由度アクティブ制御

搭載盤および設置面の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元(6自由度)でコントロールします。

自動アクティブ調整&自動レベリング

アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。

電源のみで動作

使用に必要なユーティリティは電源のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。

アプリケーション

走査プローブ顕微鏡(SPM)、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元形状測定機、レーザー変位計システム、その他精密測定・精密加工機。

振動伝達率データ

me40-d-response

仕様

  • 主な仕様
項目/型式ME40-0806DME40-1007D
アクティブ制御範囲0.5Hz~100Hz(100Hz以上はパッシブ制御)
自動機構アクティブ制御調整、レベリング調整
ステータス前面LCDコントロールパネルに表示
搭載可能質量(kg)200200
搭載面寸法(mm)800×6001000×750
機体寸法(mm)※※890×690×7001090×840×700
機体質量(kg)155190
ユーティリティ電源(100V-240V、AC単相、50/60Hz)
標準付属品取扱説明書、電源コード(2m)
オプション搭載盤上面タップ加工が可能です。詳しくはお問い合わせください。

※均等荷重
※※突起部は除く
専用防音ボックスや卓上型専用架台の製作も可能です。詳しくはお問い合わせください。

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